扫描透射电镜(STEM)有哪些特点？

扫描透射电镜(STEM)的特点：

（1）STEM技术要求较高，要非常高的真空度，并且电子学系统比TEM和SEM都要复杂。

（2）加速电压低，可显著减少电子束对样品的损伤，而且可大大提高图像的衬度，特别适合于有机高分子、生物等软材料样品的透射分析。

（3）可以观察较厚的试样和低衬度的试样。

（4）扫描透射模式时物镜的强激励，可以实现微区衍射。

（5）应用扫描电镜的STEM模式观察生物样品时，样品无需染色直接观察即可获得较 高衬度的图像。

扫描透射像的形成原理：

在扫描电镜中，电子束与薄样品相互作用时，会有一部分电子透过样品，这一部分透射电子也可用来成像，其形成的像就是扫描透射像（STEM像）。如下图所示，扫描电镜的STEM图像跟透射电镜类似，也分为明场像（bright field，BF）和暗场像（dark field，DF），明场像的探测器安装在扫描电镜样品的正下方，当入射电子束穿过样品后，散射角度较小的电子经过光阑孔选择后进入明场探测器形成透射明场像，散射角比较大的电子经DF-STEM电极板反射，由二次电子探头接受形成暗场像。

钢铁中非金属夹杂物的检测方法一直在变化，早期的工作者主要用光学显微镜配合X射线结构分析和化学成分分析，积累了宝贵的经验和丰富的资料。近年来，采用电子探针对夹杂物进行微区成分分析日益增多。目前鉴定夹杂物的大致方法有以下两种。

1、金相法与微区域成分分析相结合

在金相观察中选出待定夹杂物后，用电子探险针（EPMA）进行微区成分分析或者应用扫描电镜（SEM）自带能谱分析你（EDS）进行成分分析。通常可以测定尺寸大于1um的夹杂物的组成元素和大致成分，如果采用个别元素的面扫描还可以得到更为直观的结果。

2、光学金相法

在光学显微镜下利用明视场观察夹杂物的颜色、形态、大小和分布；在暗场下观察夹杂物的固有色彩和透明度；在正交偏振光下观察夹杂物的各种光学性质，从而判断夹杂物类型。根据夹杂物的分布情况及数量评定相应的级别，评判其对钢材性能的影响。目前检验和研究钢中非金属夹杂物的方法很多，有化学法、岩相法、金相法、电子探针和电子扫描法等。

徕卡显微镜Leica Steel Expert可以与自动材料显微镜和高解析度数码机使用来建立一个整合系统解决方案，它容许核对在钢合金中多达六种不同种类的非金属杂渣物，硫化物, 球化氧化物, 硅化物, 氧化铝和杂质的杂渣物可以被探测，和有能力辨认彩色的 TIN 杂渣物。

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