SEM对样品的要求。
1、不会被电子束分解。
2、在电子束扫描下热稳定性要好。
3、能提供导电和导热通道。
4、大小与厚度要适于样品台的安装。
5、观察面应该清洁,无污染物。
6、进行微区成分分析的表面应平整。
7、磁性试样要预先去磁,以免观察时电子束受到磁场的影响。
sem测试不同样品测试结果不同有:1、结构差异。主要体现在不同样品在电子束光路中的位置不同;
2、焦深不同。电子束在穿过样品时,会和样品中的原子发生散射,样品上某一点同时穿过的电子方向不同。
可以。样品室中有样品台和信号探测器样品台还能使样品做平移、倾斜、转动等运动。
试样在样品室中可动的范围非常大,可以在三度空间内有6个自由度运动(即三度空间平移、三度空间旋转)。由于样品可在SEM样品室的三维空间中作平移和旋转运动,所以可从各种角度直接观察样品的表面结构和形貌。
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