sem仪器,显示dp温度过低,稍等一会的原因

sem仪器,显示dp温度过低,稍等一会的原因,第1张

扩散泵温度过低

开机时,初级泵(油泵)抽到一定真空度后扩散泵启动。这时候电热丝会加热扩散泵底部使泵油沸腾。一般这个过程很短,即使提示“温度过低,稍等一会儿”,也就稍等一会儿吧。

如果等很久,扩散泵都不工作,可以看看泵底部是不是热了(注意:高温,不要用手摸)。

如果不热,可能是电热部分损坏了;

如果是高温的,可能是测温元件坏了,或者软件有问题。

扩散泵一般在镜筒正下方,气浮平台里面。

1、高真空环境是分子流,湿的样品不断释放水蒸气,使高真空情况下,真空度很难上升,往往达不到比较优越的条件。

2、水蒸气和2000多度高温的钨丝反应,会加速电子枪灯丝挥发,极大降低灯丝寿命。

3、对电子束的散射,会造成信号损失

4、污染样品


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