目前工业界采用CD一SEM对小特征尺寸进行测量。
光刻机巨头ASML称东方晶源可能侵权,中企对此作何回应?下面就我们来针对这个问题进行一番探讨,希望这些内容能够帮到有需要的朋友们。
荷兰光刻机大佬阿斯麦(ASML)声称,中国公司东方晶源(DongFangJingYuanElectron,DFJY)已经中国积极主动市场销售很有可能(couldpotentially)侵犯该公司专利权的商品。
阿斯麦还称,中国东方晶源与一家早已倒闭的美国公司XTAL存在关系,后面一种曾在2019年被美国法院曾判断侵害阿斯麦的专利权。阿斯麦称,早已告之顾客不必帮助中国东方晶源从业该类潜在性的侵权责任。阿斯麦还表露,该公司已向中国监督机构告知有关信息,已经紧密检测有关状况,并打算在恰当的机会采用法律行动。
对于此事,中国东方晶源的工作员称临时不方便回复这事。而阿斯麦中国层面称,这事与XTAL以前的侵权案相关,是年度报告中的一切正常公布。阿斯麦已经密切关注中国东方晶源的动态性,现阶段并未提前准备采用法律法规对策,但如果有确凿证据该公司将诉诸法律。
中国东方晶源官方网站消息表明,该公司全称之为中国东方晶源微电子科技(北京)有限公司创立于2014年,总公司坐落于北京亦庄经济技术开发区,是一家致力于集成电路合格率管理方法的公司。
从实际业务流程看来,中国东方晶源关键设备为纳米离子束视觉检测武器装备(EBI)和重要规格测量武器装备(CD-SEM)、测算光刻商品(OPC)及其电子光学设计方案与生产制造智能化合格率优化平台(HPOTM)。
中国东方晶源公司在官方网站称,其商品均为自主研发且处在中国领先地位,可以合理处理中国集成电路产业链好几个难题。该公司还提及,中国东方晶源自创立至今坚持不懈以引领发展趋势,申报世界各国专利发明145项,授权专利发明49项,手机软件着作权14项,商标注册15项。
2021年9月,中国东方晶源公布,该公司进行新一轮几亿元股权质押融资,这轮股权融资由赛领资本、深创投领投,诸多著名风险投资机构协同项目投资。“此次股权融资将有利于中国东方晶源加速在集成电路前道离子束检验、测算光刻系统软件等关键商品的产品研发过程,加快在集成电路合格率管理方法行业的总体合理布局。”
阿斯麦公布的财务报告表明,该公司2021年营业收入为186亿欧(折合RMB1339亿人民币),同比增加33%;纯利润为59亿欧(折合RMB425亿人民币),同比增加66%;毛利率是53%,比上年同期提升4个点。2021年,该公司共交货309台光刻机,比2020年空出51台;在其中极紫外光光刻机42台,比2020年多11台。
欢迎分享,转载请注明来源:夏雨云
评论列表(0条)