测sem时的硅片的作用

测sem时的硅片的作用,第1张

检查硅片表面残留的涂层均匀薄膜。扫描电镜SEM是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。测sem时的硅片的作用检查硅片表面残留的涂层或均匀薄膜,硅片是生产集成电路、分立器件、传感器等半导体产品的关键材料,是半导体产业链基础性的一环。

可以把材料切一小块儿,然后镶样吧(就像磨小试样的金相一样),磨好后再喷金,然后再用SEM观察玻璃涂层的均匀性以及厚度吧。楼上说的掰断的方法,看是能看,但看的都是

断口

的形貌吧,是否会影响观察玻璃涂层的厚度呢。


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