场发射扫描电镜与普通的扫面电镜有什么区别？

sem 有冷场发射的和热场发射的，还有环扫。场发射的分辨率较高，达到1nm

环扫达3¬4nm,样品室比较大，景深大，可做断口和有污染的样品，电子束流达，可信度高。

还有什么不懂的的话，可以和我交流，大家共同进步。

冷场：做完测试关灯丝，需要做Cleaning，灯丝束流亮度较低，成像质量较好，不适合做EDS。

热场：灯丝常亮，不需要清洁维护，灯丝亮度高，成像效果较好（相同等级的热场FESEM成像效果略逊色于冷场FESEM），EDS效果远优于冷场。

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