测sem时的硅片的作用

测sem时的硅片的作用,第1张

检查硅片表面残留的涂层或均匀薄膜。扫描电镜SEM是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。测sem时的硅片的作用检查硅片表面残留的涂层或均匀薄膜,硅片是生产集成电路、分立器件、传感器等半导体产品的关键材料,是半导体产业链基础性的一环。

对于零维和一维纳米材料,SEM观察时需要分散。一般使用有机溶剂加分散剂,超声波分散,离心沉淀后用吸管取上清液,滴在干净的硅片或载玻片上,干燥后用导电胶带粘取。

具体沉淀时间或离心机的参数,需要多做几次试验,针对不同的材料特点,选择好的条件。


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