请教薄膜样品做XRD、SEM和原子力显微镜测试的先后顺序？

如果薄膜导电，不需要喷金等，可以先测AFM，再测SEM，最后测XRD否则先测AFM，再测XRD，最后测SEMAFM和XRD是无损检测，但AFM怕样品弄脏，所以一般先测。

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能。

SEM扫描电镜测试对样品的要求并不高，粉末、液体、固体、薄膜、块体均可测试，块体样品要求长宽小于1cm，厚度小于1cm左右。所以样品少一些没关系。

扫描电镜（SEM）是1965年发明的较现代的细胞生物学研究工具，它具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点。是一种用途广泛的科学仪器，它可以根据用户的需求提供样品不同类型的信息。

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