4、SEM观察的样品,必须是平整的样品吗?

SEM对样品的要求。

1、不会被电子束分解。

2、在电子束扫描下热稳定性要好。

3、能提供导电和导热通道。

4、大小与厚度要适于样品台的安装。

5、观察面应该清洁，无污染物。

6、进行微区成分分析的表面应平整。

7、磁性试样要预先去磁，以免观察时电子束受到磁场的影响。

样品室中有样品台和信号探测器样品台还能使样品做平移、倾斜、转动等运动。

试样在样品室中可动的范围非常大，可以在三度空间内有6个自由度运动(即三度空间平移、三度空间旋转)。由于样品可在SEM样品室的三维空间中作平移和旋转运动，所以可从各种角度直接观察样品的表面结构和形貌。

扫描电子显微镜

，主要用于电子显微成像，接配电子显微分析附件，可做相应的特征分析，

最常用的是聚焦

电子束

和样品相互作用区发射出的元素特征

X-射线

，可用EDS或者WDS进行探测分析，获得微区（作用区）元素成分信息，而EDS或者WDS这类电子显微分析附件却来源于EPMA。

SEM就是一个电子显微分析平台，分析附件可根据用户需要来选配，有需要这个的，有需要那个的，因此

扫描电镜

结构种类具有多样性，从tiny、small、little

style，to

middle、large、huge

style.

就EDS或WDS分析技术来讲，在SEM上使用，基本上使用无

标样

分析，获得很粗糙的

半定量

结果。

而EPMA在SEM商品化10年前，就已经开始实用了，其主要目的，就是要精确获得微米尺度晶粒或颗粒的成分信息.

主要分析手段是WDS，一般配置4个WDS，基于此，EPMA结构比较单一，各品牌型号结构差距不大。EMPA追求电子显微分析结果精准，因此

电子光学

设计不追求高分辨，电子显微分析对汇聚束的要求相匹配即可。

早期EPMA成像手段主要采用同轴

光学显微镜

，然后移动样品台或移动汇聚电子束，找到感兴趣区，当前依然保留同轴光镜，用来校准WD。EMPA对电子光学系统工作条件的稳定性要求超过SEM很多很多，控制系统增加了一些

负反馈

机制，确保分析条件和标样分析保持很小的误差。