扫描电镜原理 什么是场发射

扫描电镜原理：

电子与物质相互作用会产生透射电子，弹性散射电子，能量损失电子，二次电子，背反射电子，吸收电子，X射线，俄歇电子，阴极发光和电动力等等。

电子显微镜就是利用这些信息来对试样进行形貌观察、成分分析和结构测定的。

电子显微镜有很多类型，主要有透射电子显微镜(简称透射电镜，TEM)和扫描电子显微镜(简称扫描电镜，SEM)两大类。

电子束通过加速电压打到样品上，称场发射。

sem 有冷场发射的和热场发射的，还有环扫。场发射的分辨率较高，达到1nm

环扫达3¬4nm,样品室比较大，景深大，可做断口和有污染的样品，电子束流达，可信度高。

还有什么不懂的的话，可以和我交流，大家共同进步。

冷场：做完测试关灯丝，需要做Cleaning，灯丝束流亮度较低，成像质量较好，不适合做EDS。

热场：灯丝常亮，不需要清洁维护，灯丝亮度高，成像效果较好（相同等级的热场FESEM成像效果略逊色于冷场FESEM），EDS效果远优于冷场。

---