用扫描电镜（SEM）做表征，大概一次要花多少钱？除了中科院和清华大学等学校外，有其他地方做SEM表征么？

SEM和XRD基本是两个东西……

SEM看形貌，打能谱看成分，高中生都能懂，但是看组织什么的还得学习，操作基本可以放给训练过的人自己做

XRD是分析相组成，速度快不用抽真空，还很便宜，但是数据分析比较麻烦需要专门学习，对晶体学理论要求较高。操作方面我们是考了证就可以自己操作了，也不难学

我的建议是俩都做，毕竟得出的不是一样的结论，结合在一起会好很多

便宜的SEM现在很多的，不用上高倍的话就更多了，清华很多系里都有不开放的，北大也有，北科也有，没用过，企业里也有很多便宜的电镜

相同：都是电子枪即发射电子的装置，都有阴极和阳极, 阴极都是点源发射，阴极和阳极之间有直流高压电场存在，高压一般可调，用于控制电子的发射速度（能量），电子枪发射的电流强度很小，微安级别和纳安级别，为防止气体电离造成的大电流击穿高压电源，都需要高真空环境。电子枪阴极都属于耗材系列。

差异和优劣:

1、点源直径不同及优劣：

钨灯丝电子枪阴极使用0.1mm直径的钨丝制成V形（发叉式钨丝阴极），使用V形的尖端作为点发射源，曲率半径大约为0.1mm；场发射电子枪阴极使用0.1mm直径的钨丝，经过腐蚀制成针状的尖阴极，一般曲率半径在100nm~1μm之间。由于制作工艺上的差异，造价不同，发叉式钨丝阴极便宜，场发射阴极很贵。

2、发射机制不同和优劣

钨灯丝属于热发射，在灯丝电极加直流电压，钨丝发热，使用温度一般在2600K~2800K之间，钨丝有很高的电子发射效率，温度越高电流密度越大，理想情况下的的电子枪亮度越高。由于材料的蒸发速度随温度升高而急剧上升，因此钨灯丝的寿命比较短，一般在50~200小时之间，这个和设定的灯丝温度有关。由于电子发射温度高，发射的电子能量分散度大，一般2ev， 电子枪引起的色差会比较大。

场发射电子枪主要的发射机制不是靠加热阴极，而是在尖阴极表面增加强电场，从而降低阴极材料的表面势垒，并且可以使得表面势垒宽度变窄到纳米尺度，从而出现量子隧道效应，在常温甚至在低温下，大量低能电子通过隧道发射到真空中，由于阴极材料温度低，一般材料不会损失，因此寿命很长，可使用上万小时。

3、电子枪控制方式和电子源直径不同和优劣性。

钨灯丝是三极自给偏压控制，具有偏压负反馈电路，因此发射电流稳定度高；由于阴极发射点源面积大，因此电子源尺寸也比较大，50~100μm，发射可达几十~150μA，但电子枪的亮度低，因此当电子束斑聚焦到几个纳米的时候，总的探针电流很小, 信噪比太低是限制图像分辨率的根本因素，当前最佳钨灯丝扫描电镜最佳分辨率3.0nm.

场发射电子枪没有偏压负反馈电路，外界电源的稳定度是决定因素，发射电流稳定度相比要低一些；由于尖阴极发射电源面积很小100nm左右，没有明显的电子源，因此使用虚电子源作为电子光学系统设计的初始物而存在，电子虚源直径一般在2~20nm，电子枪亮度相比钨灯丝提高上千倍。当束斑尺寸缩小到1nm以下时依然具有足够强的探针电流来获得足够的成像信号，因此分辨率高，当前最佳的场发射扫描电镜分辨率实现了亚纳米级别。

4、系统真空度不同及优劣

钨灯丝扫描电镜使用一般的高真空，两级真空泵系统获得0.001pa的真空度即可满足，因此造价低。

场发射扫描电镜使用超高真空，需要三级真空泵必须获得0.0000001Pa以上的真空度才可以稳定工作。原因在于电子枪尖阴极不耐较低的真空中被电离的离子轰击，否则枪尖很容易被扫平而失效，这时候的性能还不如钨灯丝，其次电子枪阴极尖端在较低的真空下，吸附的气体分子会急剧加大阴极材料的表面势垒，造成电子枪发射不稳，亮度降低，所以必须使用超高真空一般是10的-8次方。 超高真空系统的造价明显比钨灯丝高很多。超高真空的洁净度要好于钨灯丝的一般高真空，因此很长时间，也就是在灯丝寿命内，系统可以免清洗和维护。钨灯丝扫描电镜相对维护周期要短一些。

5、钨灯丝和场发射是具有明显档次差异的，这也从价格上明确反映。钨灯丝扫描电镜十几万，场发射几十万，都是美元。国内目前只能制造最低档次的钨灯丝扫描电镜。

以上定性表达，具体数据还望查阅有关资料

baoyanl(站内联系TA)二手的你敢用吗？这样精密件，非常容易坏，你修的钱就够买新了。

建议买中科院的KYKY，我们这用了二十多年了，都过使用期了，还修修凑合用。

价钱低，当然性能确实不如小鬼子的。baoyanl(站内联系TA)还有一个推荐，据说去年有一次SEM会议，推出了一种新的SEM产品，大小也就一两立方米，非常小，两三千倍没问题。非常适合个人使用。

还有一个推荐，据说去年有一次SEM会议，推出了一种新的SEM产品，大小也就一两立方米，非常小，两三千倍没问题。非常适合个人使用。

二手的你敢用吗？这样精密件，非常容易坏，你修的钱就够买新了。

建议买中科院的KYKY，我们这用了二十多年了，都过使用期了，还修修凑合用。

一般还是不要买二手的好，因为设备的维护需要的钱会更多，二是搬一个地方极有可能会出现各种问题，像这种设备尽量不要搬动了。 大概问了一下，也要60万左右吧洛阳学子(站内联系TA)还使买新的吧,旧的维护费用太高了,算下来便宜不了多少

还使买新的吧,旧的维护费用太高了,算下来便宜不了多少

我查了一下，中科科仪的SEM也是好多问题，有点担心质量，进口的又太贵买不起。只是一个很难选择的问题。 有多少钱办多少事，除非你不想买。这不是个难以选择的问题，就是个简单问题。钱多，当然买鬼子的，钱少，你也只能买国产的。没钱，不买。

不管如何总比买二手的强。这东西还有人敢买二手的？？？hand1980(站内联系TA)二手的问题确实比较多，电镜拆装一次的费用就比较贵，而且很多老电镜配件都没有了，原来我们单位有台很老的扫描电镜送人都没人要，还不够一次拆装的费用，而且这种老电镜据说已经没有人会修了，工程师都退休了，你们要看高倍如果要买就买个透射吧就扫描一般1万倍能看清就不错了，日立H800，日本电子100CX国内比较多，都是比较经典的电镜应该也不贵，还有配件yangweiliu(站内联系TA)美国的二手TEM，分辨率在1nm以下的价格和corolla差不多，分辨率在0.5nm以下的价格和camry差不多。国内的二手TEM的行情不太清楚，不过你可以作为参考。

日立S5500 买这样这种型号的新的大概要多少钱呀？我问过日立S5000，S-3400N

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