本文探讨了紫外辐照对生长在蓝宝石衬底上的非有意掺杂 n 型氮化镓 (GaN) 层的湿法化学刻蚀的影响。实验过程中，我们发现氮化镓的蚀刻发生在 pH 值分别为 2-1 和 11-15 的磷酸水溶液和氢氧化钾溶液中。在稀释的磷酸和氢氧化钾溶液中

本文探讨了紫外辐照对生长在蓝宝石衬底上的非有意掺杂 n 型氮化镓 (GaN) 层的湿法化学刻蚀的影响。实验过程中，我们发现氮化镓的蚀刻发生在 pH 值分别为 2-1 和 11-15 的磷酸水溶液和氢氧化钾溶液中。在稀释的磷酸和氢氧化钾溶液中