进行元素分析的信号主要是作用区发射的元素特征X射线，俄歇电子，阴极荧光，背散射电子等，特征能量损失电子。SEM常常使用：EDS，WDS分光特征X射线；俄歇电子需要超高真空环境，往往以俄歇电子谱仪的商品出现，也可归入扫描电镜范畴；背散射电子携