硅片是如何和清洗的？
1. 清洗硅片并准备掩膜：1）浓H2SO4H2O2=3﹕1，15min（配1次洗液可以用1周；H2O2 30%）；2）打开电热板调至200℃；掩膜准备；2. 超纯水清洗硅片；注释：用镊子夹着硅片，不能使硅片放干；3. 无水乙醇清洗硅片，1
硅片是如何和清洗的？
1. 清洗硅片并准备掩膜：1）浓H2SO4H2O2=3﹕1，15min（配1次洗液可以用1周；H2O2 30%）；2）打开电热板调至200℃；掩膜准备；2. 超纯水清洗硅片；注释：用镊子夹着硅片，不能使硅片放干；3. 无水乙醇清洗硅片，1
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1. 清洗硅片并准备掩膜：1）浓H2SO4H2O2=3﹕1，15min（配1次洗液可以用1周；H2O2 30%）；2）打开电热板调至200℃；掩膜准备；2. 超纯水清洗硅片；注释：用镊子夹着硅片，不能使硅片放干；3. 无水乙醇清洗硅片，1
