怎么用SEM看薄膜截断面
针对怎么用SEM看薄膜截断面来回答:献峰科技指出:在Si片上镀一层非晶碳膜(厚度为几十个nm,导电性能较差),用金刚石刀直接切割出试样,然后进行SEM观察,希望得到薄膜的厚度。第一次去做时表面没有喷金,看到的断面效果也很差,很难清楚的看到薄
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