氧化膜厚度单位是μm。氧化膜中存在两种类型的应力，氧化膜恒温生长时产生的生长应力和温度变化时由于金属与氧化物的热膨胀系数不同而产生的热应力。氧化膜应力的精确测量是氧化膜应力研究的基础。已经发展了多种氧化膜应力原位测量技术。氧化膜厚度测定方