sem中的se,bse 图像分辨用了哪些信号

sem中的se,bse 图像分辨用了哪些信号,第1张

对日开发中ブリッジシステムエンジニア(BSE)英语是:bridgesystemengineer他是指能够和日本人直接交流,并且常驻日本,从而起到一个窗口和桥梁的作用的SE,在日本那边把程序发注到中国来开发,有问题时,可以由他直接和日本那边交流.システムエンジニア(SE)英语是:systemengineer是指有多年的CODING经验.技术很强,可以做系统的设计的人员.参考资料:自己整理

你说的是SEM电镜吧,这主要是它的成像原理导致的其可以反映样品表面或者断面的形貌信息。SEM的工作原理为:从电子枪阴极发出的直径20(m~30(m的电子束,受到阴阳极之间加速电压的作用,射向镜筒,经过聚光镜及物镜的会聚作用,缩小成直径约几毫微米的电子探针。在物镜上部的扫描线圈的作用下,电子探针在样品表面作光栅状扫描并且激发出多种电子信号。这些电子信号被相应的检测器检测,经过放大、转换,变成电压信号,最后被送到显像管的栅极上并且调制显像管的亮度。显像管中的电子束在荧光屏上也作光栅状扫描,并且这种扫描运动与样品表面的电子束的扫描运动严格同步,这样即获得衬度与所接收信号强度相对应的扫描电子像,这种图象反映了样品表面的形貌特征。

入射电子束射入样品表面,扩散成一个水滴状,从上至下激发出的信号有:

1、俄歇电子,深度埃米级别:能量很弱,扫描电镜探测器不能采集,有专门的俄歇电镜和俄歇能谱仪;

2、二次电子,深度亚微米到5μm级别:二次电子又分SE1和SE2,分别被电镜不同二次电子探测器接收,形成形貌像;

3、阴极荧光、连续X射线:扫描电镜探测器不能采集;

4、背散射电子:扫描电镜背散射探头采集,可形成元素成分分布像和元素成分+形貌像;

5、特征X射线:扫描电镜能谱仪接收,形成元素成分分布像和元素含量分布结果;

6、吸收电子:吸收了,没有然后;

7、透射电子:亚微米到微米级别厚度的样品可能透过样品产生透射电子,需要借助透射电镜采集,形成透射电镜像或者能谱结果。


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