eds和点扫区别

如果要分析材料微区成分元素种类与含量，往往有多种方法，打能谱就是我们最常用的手段。

能谱具有操作简单、分析速度快以及结果直观等特点，最重要的是其价格相比于高大上的电镜来说更为低廉，因此能谱也成为了目前电镜的标配。

能谱EDS的采样深度大约为1 μm，可对试样微区内Be~U范围内的元素进行分析。根据扫描方式的不同可分为点扫、线扫和面扫。点扫和线扫都是对样品的某一位置进行微区元素分析，两者区别是扫描能谱的面积大小不一。点扫可以给出扫描元素的相对含量，测试准确性较高，常用于显微结构的成分分析。面扫是对样品某一区域的元素分布进行观察。

EDS点扫

EDS 点分析是将电子束固定于样品中某一点上，进行定性或者定量的分析。如图1所示是能谱点扫给出的峰型图，每一种元素在图中会出现一种峰，由此可以看出样品中所含有的元素，同时，也会相对应的给出如表1所示的元素相对含量表，表中数据展示了相对质量分数和相对原子分数及误差，误差越大表示元素的相对含量可信度越低。

如上图1 对样品的某一位置进行能谱点扫得到的元素图

表1样品的相对元素含量

EDS 线扫

EDS 线扫描分析是电子束沿一条线对样品进行扫描，能得到元素含量变化的线分布曲线。结合样品形貌像对照分析，能直观获得元素在不同区域的分布情况。图2可以看出，元素含量的差异与形貌结合可以分析样品结构上的差异。

图2对样品进行线扫的结果图

EDS 面扫

EDS 面扫描分析是电子束在样品表面扫描，试样表面的元素在屏幕上由亮度或彩色表现出来，常用来做定性分析。亮度越高，元素含量越高，结合形貌像常用于成分偏聚、相分布的研究中。从图3中可以看出元素分布的差异，结合形貌图对样品进行定性分析。

光学电镜的说法不对，应该是光学显微镜，光学显微镜是样品直接反射或可见光通过样品从而在目镜后成倒立放大的虚像。SEM扫描电镜和TEM透射电镜是高倍数的显微镜，因为可见光波长达不到分子尺度要求，所以光学显微镜放大的尺度和清晰度有限。SEM是通过电子束扫描样品在屏幕上成像，成像在小尺度更清晰，景深也较大。TEM是通过电子打穿样品而获得的信号在屏幕上成像，有成像模式和电子衍射两种功能，可以观察样品微观表面形貌和分析晶体结构。纯手打，希望帮到你。

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