电子扫描显微镜(SEM)的工作原理???

电子扫描显微镜(SEM)的工作原理???,第1张

SEM通过电子来使样本放大50万倍,相当于将1毫米放大到500米。同时,SEM也可以分析样品的组成元素。SEM产生电子束撞击样品原子的电子层,产生X射线,释放不同程度的能力,从而判断原子的种类。这项技术也被称为X射线微探技术,对于分析枪击痕迹非常有用。

1、放大率:

与普通光学显微镜不同,在SEM中,是通过控制扫描区域的大小来控制放大率的。如果需要更高的放大率,只需要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到。

所以,SEM中,透镜与放大率无关。

2、场深:

在SEM中,位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象。这一小层的厚度称为场深,通常为几纳米厚,所以,SEM可以用于纳米级样品的三维成像。

3、作用体积:

电子束不仅仅与样品表层原子发生作用,它实际上与一定厚度范围内的样品原子发生作用,所以存在一个作用“体积”。

4、工作距离:

工作距离指从物镜到样品最高点的垂直距离。

如果增加工作距离,可以在其他条件不变的情况下获得更大的场深。如果减少工作距离,则可以在其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。通常使用的工作距离在5毫米到10毫米之间。

5、成象:

次级电子和背散射电子可以用于成象,但后者不如前者,所以通常使用次级电子。

6、表面分析:

欧革电子、特征X射线、背散射电子的产生过程均与样品原子性质有关,所以可以用于成分分析。但由于电子束只能穿透样品表面很浅的一层(参见作用体积),所以只能用于表面分析。

表面分析以特征X射线分析最常用,所用到的探测器有两种:能谱分析仪与波谱分析仪。前者速度快但精度不高,后者非常精确,可以检测到“痕迹元素”的存在但耗时太长。

观察方法:

如果图像是规则的(具螺旋对称的活体高分子物质或结晶),则将电镜像放在光衍射计上可容易地观察图像的平行周期性。

尤其用光过滤法,即只留衍射像上有周期性的衍射斑,将其他部分遮蔽使重新衍射,则会得到背景干扰少的鲜明图像。

扩展资料:

SEM扫描电镜图的分析方法:

从干扰严重的电镜照片中找出真实图像的方法。在电镜照片中,有时因为背景干扰严重,只用肉眼观察不能判断出目的物的图像。

图像与其衍射像之间存在着数学的傅立叶变换关系,所以将电镜像用光度计扫描,使各点的浓淡数值化,将之进行傅立叶变换,便可求出衍射像〔衍射斑的强度(振幅的2乘)和其相位〕。

将其相位与从电子衍射或X射线衍射强度所得的振幅组合起来进行傅立叶变换,则会得到更鲜明的图像。此法对属于活体膜之一的紫膜等一些由二维结晶所成的材料特别适用。

扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描,激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像,获得测试试样表面形貌的观察。

参考资料:百度百科-扫描电子显微镜

彭同江 孙红娟 陈吉明 马国华

(西南科技大学矿物材料及应用研究所,四川绵阳 621010)

摘要 对纤蛇纹石石棉的化学成分、晶体结构、形态特征和活性进行了研究,研究了纤蛇纹石石棉制备纤维状纳米SiO2的原理,并对试验产物进行了分析。结果表明:纤蛇纹石石棉是天然产出的纳米管状材料,其内管直径在3.5~24nm之间,多数小于11nm,外管直径在16~56nm之间,绝大多数在20~50nm范围内。纯净的纤蛇纹石石棉样品的化学成分主要为SiO2、MgO和H2O+,其质量分数SiO2为42%左右、MgO为42%左右、结构水H2O+为约13%。纤蛇纹石具有卷管状结构,化学键特点决定了其具有很好的化学活性和可改造性,为制备纤维状纳米SiO2粉体材料创造了基础。纤蛇纹石石棉纤维经酸处理后,MgO等组分被浸取出来转变为硫酸盐,而残留下非晶质纳米SiO2纤维残骸;经后处理即可获得纤维状SiO2纳米材料。

关键词 短纤维石棉;特征研究;制备纤维状SiO2。

第一作者简介:彭同江(1958—),男,博士,教授,研究方向:矿物晶体化学。E-mail:tjpeng@swust.edu.cn。

一、短纤维石棉的化学分散实验及结果分析

采用十二烷基苯磺酸钠(SDBS)对纤蛇纹石纤维进行了化学分散的试验和机理研究。结果表明,纤蛇纹石纤维进入水中表面带有正电荷,阴离子表面活性剂十二烷基苯磺酸钠对其具有很好的松解分散作用;分散后的纤维样品纤维直径大部分在50nm左右,Zeta电位恒为负值,且随pH值的增加,Zeta电位负值越来越大。

(一)短纤维石棉的化学分散实验

1.分散实验

取一定量水洗提纯后的纤蛇纹石纤维样品,加入一定量的十二烷基苯磺酸钠,再加水至容积500 mL,搅拌均匀后浸泡24 h,然后利用乳化机在一定转速下进行分散试验。

2.干燥方法

由于SDBS的作用,尽管纤维的浓度低(试验中取1%~2%),但纤蛇纹石纤维高度分散在水中,并形成胶体状的纤维浆。由于纤蛇纹石纤维的直径非常细,传统的过滤难于进行固液分离。当使用一层滤纸进行抽滤时,纤维浆的固液分离率较低,滤液中尚有少量的纤维;当使用两层或两层以上滤纸时,固液分离率有所提高,但抽滤速度太慢,平均每分钟抽出滤液约为1~3 mL。因此,试验中自行设计了两种使纤维浆体浓缩的方法,即直接干燥法和热水凝聚法。

(1)热水凝聚法

将蒸馏水适量装入烧杯中,加热至沸腾状态,然后边搅拌边缓慢倒入一定量的纤维浆体。由于水对纤维浆体的稀释作用,导致浆液中SDBS溶液的浓度下降,加上热的作用,使吸附在纤维表面上的SDBS分子产生解吸作用,导致第二层吸附分子层的破坏,从而使得原来分散的纤维发生凝聚而沉降下来。待浆液冷却下来后,使用抽气机进行抽滤,能加快实现固液分离。过滤获得的滤饼经洗涤后进行干燥,然后利用高速搅拌器进行分散处理,便可获得灰白色蓬松状的纤维样品。

(2)直接干燥法

将纤维浆体装入烧杯中,通过加热使纤维浆液中的水分完全蒸发,则在容器底部获得了纤维与SDBS的混合物。将其取出后,直接使用高速搅拌器在干法状态下进行分散处理,得到灰白色蓬松状的纤维样品。

与热水凝聚法不同的是,虽然同样是对纤维浆体进行加热,但直接干燥法不会对纤维浆体产生稀释的作用,不但不会使SDBS的浓度下降,反而提高。因此直接干燥法所获得的纤维间残留了较多的SDBS。而热水凝聚法可洗去大部分SDBS,所得到的固体产物中含有较少的SDBS。纤维样品中存在的SDBS可以通过煅烧除去。

(二)结果及讨论

1.影响纤维分散程度的因素

(1)分散剂用量

分散剂的使用量不同,纤维样品的分散程度不同,分析结果如图1所示。

由图1可以看出,随分散剂用量的增加,液体的透光率是逐步下降的,而过滤时间是逐渐上升的,即纤维的分散程度与分散剂的用量呈正相关关系。当分散剂的量由2.5%增加到15%时,体系的透光率下降很快;而再增加分散剂的量到17.5%时,透光率下降很少。当分散剂的量达到15%的时候,过滤时间出现了一个最大值;再增加分散剂的量时,过滤时间却有一定程度的下降。这说明适量的分散剂有利于纤维的分散,但分散剂过多,对纤维的分散不利。实验结果表明,SDBS的用量为15%时,纤维的分散效果最佳。

图1 分散剂用量对纤维分散程度的影响

(2)分散时间

分散时间不同,纤维样品的分散程度不同,分析结果如图2所示。

图2 分散时间对纤维分散程度的影响

图2表明,随着分散时间的增加,透光率逐渐减小,而过滤时间逐渐增加。这说明分散时间与纤维分散程度呈正相关关系。当分散时间小于60 min 时,分散程度随着时间的增加而较快地提高,线性关系也较好。当分散时间超过60 min以后,分散程度随时间的增加,变化程度较小。

(3)搅拌速度

分散时所采用乳化机的转速不同,纤维样品的分散程度不同,分析结果如图3所示。

图3 搅拌速度对纤维分散程度的影响

乳化机的高速剪切作用对纤蛇纹石纤维的分散具有很大的促进作用。图3表明,随乳化机转子转速增加,样品纤维的分散程度提高。这是因为乳化机转速越快,转子旋转所产生的离心力就越大,相应的被甩出的纤维的线速度就越大,纤维之间受到的剪切力、摩擦力和碰撞力就越大,进而使纤维更容易被开松分散。

SDBS对纤维的分散作用主要体现在其使用量对纤维分散程度的影响上;而分散时间和搅拌速度对纤维分散程度的影响,则通过SDBS(化学松解作用)和乳化机(物理松解作用)的协同作用而体现出来。

2.扫描电子显微镜分析(SEM)

SEM分析可以很清楚地表征纤维的分散状况。使用的是英国Leica Cambridge LTD公司生产的S440 型扫描电子显微镜。纤维原样和分散后所得到样品的SEM照片如图4、图5。

图4 纤维原样SC-Y的SEM照片

图5 分散样品的SEM照片

(a)热水凝聚法干燥的样品CA-FS-1;(b)直接干燥法干燥的样品CA-FS-2

由图4可以看出,未被分散处理的原始纤维样品在选矿加工过程中已有大量纤维被机械分散,但尚有大量纤维束存在,纤维束中纤维几乎相互平行地粘接在一起。

经过热水凝聚法(图5a)和直接干燥法(图5b)所得到的分散后的纤维,仅有少量的纤维束存在,绝大多数呈单根纤维存在,纤蛇纹石纤维得到了较充分地分散,所得到的单根纤维的直径绝大部分在50nm左右。热水凝聚法干燥的纤维样品,其纤维间和纤维表面几乎没有SDBS的胶结物存在。而直接干燥法干燥的纤维样品,其纤维间和纤维表面尚存有SDBS的胶结物。

3.Zeta电位分析

采用英国Malvern公司所产的Zetasizer 3000 Hs型Zeta电位分析仪对样品的Zeta 电位及pH 值进行了分析,结果如图6。

图6 样品Zeta 电位及随pH 值的变化

1—提纯纤维;2—热水凝聚法样品;3—直接干燥法样品

从图6 可以看出,分散前的提纯纤维的Zeta电位在很大的pH 值范围内为正。随pH值的增大,纤维表面的Zeta电位逐渐降低,并由正变负,其零电点的pH值为10.8左右。在测定范围内,纤维的最高Zeta电位值为46.3 mV,最低值为-16.7 mV。

使用SDBS分散后的纤维,其表面电性有了根本性的变化。带正电荷的原纤维表面吸附了阴离子表面活性剂后使其表面带有负电性,且Zeta电位值随pH值的增大而减小。在测定的范围内,对于热水凝聚法获得的样品Zeta电位在-2.7~-37.6 mV之间,对于直接干燥法获得的样品Zeta电位在-10.1~-44.8 mV之间。与热水凝聚法样品相比,直接干燥法样品中含有更多的SDBS,因此,其Zeta电位更低。可见,当SDBS的浓度增加时,纤蛇纹石纤维表面Zeta电位的负值也增加,进而可增加纤维之间的松解分散作用。

二、纤维状SiO2的制备原理与技术

研究了纤蛇纹石石棉制备纤维状纳米SiO2的原理,并对试验产物进行了分析。纤蛇纹石具有卷管状结构,化学键特点决定了其具有很好的化学活性和可改造性,为制备纤维状纳米SiO2粉体材料奠定了基础。纤蛇纹石石棉纤维经酸处理后,MgO等组分被浸取出来转变为硫酸盐,而残留下非晶质纳米SiO2纤维残骸;经后处理即可获得纤维状SiO2纳米材料。

(一)基本原理

纤蛇纹石石棉制备纤维状纳米SiO2粉体的原理主要依据如下4个方面:①卷管状纤蛇纹石石棉原纤维;②石棉原纤维中高含量的SiO2组分;③石棉原纤维中MgO等组分的酸可溶性及与SiO2组分的惰性;④非晶质SiO2纤维残骸的稳定性。

其中①、② 是制备纤维状纳米SiO2粉体的物质和结构基础;③、④是制备纤维状纳米SiO2粉体的工艺技术原理基础。其中③的工艺原理可由如下化学反应方程式表示:

中国非金属矿业

由反应式(1)获得的非晶质SiO2纤维残骸经加热与后处理可获得纤维状SiO2纳米粉体材料。

中国非金属矿业

(二)实验及结果分析

根据上述制备纤维状SiO2纳米粉体的基本原理,可将制备纤维状纳米SiO2的实验步骤分为5个环节:

1)石棉原纤维的物理分散与化学分散。采用机械搅拌和添加活性剂的方法,使石棉纤维分散成为胶体,目的是将石棉纤维束分散成趋向于单一纤维的石棉凝胶。

2)酸浸取反应与固液分离。采用硫酸处理石棉纤维,目的是将石棉中Mg、Fe等其他非SiO2组分通过与硫酸反应形成硫酸盐,达到与非晶质SiO2纤维分离,并洗涤除去硫酸盐组分。

3)非晶质SiO2纤维的均一化处理与分散。通过添加表面修饰剂的方法,使非晶质SiO2纤维的表面得到修饰,并趋向均一化。

4)表面包覆与干燥。采用偶联剂对非晶质SiO2纤维进行包覆处理,并干燥形成分散性良好的粉体。

5)加热处理。加热非晶质SiO2纤维使其脱去胶体水转化为纤维状SiO2纳米粉体。

对经物理与化学分散后的石棉原纤维进行扫描电镜分析,对非晶质SiO2纤维样品进行X射线衍射分析。

结果表明,①石棉纤维分散较均匀,纤维直径在20~30nm。尚有未完全分散的纤维束,直径小于100nm,纤维弯曲有韧性。②经酸和加热处理后所获得的产物为非晶质结构,与气相法等方法制备的纳米SiO2的结构相似。③纤维状SiO2成棒状、针状,纤维的细度一般在30~60nm,长度在800~1600nm,甚至更长。纤维状粉体呈松散状态时,纤维之间相互交织在一起。

三、结论

1)纤蛇纹石石棉是天然产出的纳米管状材料,其内管直径在3.5~24nm之间,多数小于11nm。外管直径在16~56nm之间,绝大多数在20~50nm之间。

2)纯净的纤蛇纹石石棉样品的化学成分主要为SiO2、MgO 和H2O+;其中,SiO2为42%左右,MgO也为42%左右,结构水H2O+为13%左右,Fe2O3、FeO和Al2O3等含量在2%~4%之间。

3)纤蛇纹石具有卷管状结构,化学键特点决定了其具有很好的化学和可改造性,加上化学成分和形态特点,这为制备纤维状SiO2纳米粉体材料奠定了基础。

4)纤蛇纹石石棉纤维经酸处理后,MgO、Fe2O3、Al2O3等组分被浸取出来转变为硫酸盐,而残留下非晶质纳米SiO2纤维残骸。非晶质纳米SiO2纤维残骸经后处理后可获得纤维状SiO2纳米粉体材料。

An Experiment on Chemical Dispersion of Short Asbestos Fiber and Preparation of Fibrous SiO2

Peng Tongjiang,Sun Hongjuan,Chen Jiming,Ma Guohua

(The Research Institute of Mineral Materials and Their Application,Southwest University of Sciences and Technology,Mianyang Sichuan 621010,China)

Abstract:The article described a research on chemical composition,crystal structure,morphological characteristics and activity of chrysotile asbestos.The principle of preparation of fibrous nano SiO2from chrysotile as bestos was studied,and an analysis of experimental products was undergone.The results shown,that the chrys otile asbestos was a naturally occurred nano tubular material with an inner diameter of between 3.5—24nm,mostly shorter 11nm and an exterior diameter of between 16—56nm,predominately in the range of 20—50nm.The main chemical compositional parts of pure chrysotile asbestos sample were SiO2,MgO and H2O with weight percentages as SiO242%,MgO 42% and structural water H2O 13%.The chrysotile asbestos has a curly tubular structure.The feature of its chemical bond determines that it has an excellent chemical activity and modi fiability,which lays a foundation for preparation of fibrous nano SiO2after acid treatment of chrsotile asbestos fi ber,its components like MgO and so on were extracted and transformed into sulfates,and noncrystalline nano fibrous SiO2remains which could be changed to fibrous SiO2nanomaterial through post-treatment.

Key words:short asbestos fiber,characteristies study,preparation of fibrous SiO2.


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