sem扫描电镜测量需要多长时间

sem扫描电镜测量需要多长时间,第1张

测量时间因样品类型和测试要求而不同。

电镜测量过程包括:制样→放样→确认位置→拍照、测试等。

1、对于简单样品,可能不需要特别制样,直接取样放样(要抽真空)就可以,该过程可能需要几分钟到十几分钟;对于负责样品,可能需要断开、抛光腐蚀或者其他处理,时间就不能确定了,有的可能要半天,抽真空放样可能半个小时;

2、如果单纯拍几张照片,没有特别要求,几分钟就可以确认位置和拍完照片,如果在样品上找某些特定的特征拍照时间就可能长很多(这也与拍照人的操作熟练程度有关),如果还要测能谱或者其他的内容,时间可能会更延长。

如果楼主不能判断自己样品符合以上哪些内容,不能确认时间,可以详细说下你的样品和测试内容,才能准确知道测试时间

    结构方程模型(SEM)包括连续潜变量之间的回归模型(Bollen, 1989Browne &Arminger, 1995Joreskog &Sorbom, 1979)。也就是说,这些潜变量是连续的。这里需要注意的是:1. 潜变量(latent variables)是与观察变量(Observed variables)相对的,可通过数据分析观察;2. 观察变量可以是连续的(continuous)、删失的(censored)、二进制的(binary)、有序的(ordinal)、无序的(nominal)、计数的(counts),或者是这些类别的组合形式。

    SEM有两个部分:一个测量模型(measurement model)和一个结构模型(structural model)。

     测量模型 相当于一个多元回归模型(multivariate regression model),用于描述一组可观察的因变量和一组连续潜变量之间的关系。在此,这一组可观察的因变量被称为因子指标(factor indicators),这一组连续潜变量被称为因子(factors)。

    如何描述它们之间的关系?可以通过以下方式:

1. 若因子指标是连续的,用线性回归方程(linear regression equations);

2. 若因子指标是删失的,用删失回归或膨胀删失回归方程(censored normal or censored-inflated normal regression equations);

3. 若因子指标是有序的类别变量,用profit或logistic回归方程(probit or logistic regression equations);

4. 若因子指标是无序的类别变量,用多元logistic回归方程(multinomial logistic regression equations);

5. 若因子指标是计数的,用Poisson或零膨胀Poisson回归方程(Poisson or zero-inflated Poisson regression equations)。

     结构模型 则在一个多元回归方程中描述了三种变量关系:

1. 因子之间的关系;

2. 观察变量之间的关系;

3. 因子和不作为因子指标的观察变量之间的关系。

    同样,这些变量有不同的种类,所以要根据它们的类别来选择合适的方程进行分析:

1. 若因子为因变量,及可观察的因变量是连续的,用线性回归方程(linear regression equations);

2. 若可观察的因变量是删失的,用删失回归或膨胀删失回归方程(censored normal or censored-inflated normal regression equations);

3. 若可观察的因变量是二进制的或者是有序的类别变量,用profit或logistic回归方程(probit or logistic regression equations);

4. 若可观察的因变量是无序的类别变量,用多元logistic回归方程(multinomial logistic regression equations);

5. 若可观察的因变量是计数的,用Poisson或零膨胀Poisson回归方程(Poisson or zero-inflated Poisson regression equations)。

    在回归中,有序的类别变量可通过建立比例优势(proportional odds)模型进行说明;最大似然估计和加权最小二乘估计(maximum likelihood and weighted least squares estimators)都是可用的。

    以下特殊功能也可以通过SEM实现:

1. 单个或多组分析(Single or multiple group analysis);

2. 缺失值(Missing data);

3. 复杂的调查数据(Complex survey data);

4. 使用最大似然估计分析潜变量的交互和非线性因子(Latent variable interactions and non-linear factor analysis using maximum likelihood);

5. 随机斜率(Random slopes);

6. 限制线性和非线性参数(Linear and non-linear parameter constraints);

7. 包括特定路径的间接作用(Indirect effects including specific paths);

8. 对所有输出结果的类型进行最大似然估计(Maximum likelihood estimation for all outcome types);

9. bootstrap标准误差和置信区间(Bootstrap standard errors and confidence intervals);

10. 相等参数的Wald卡方检验(Wald chi-square test of parameter equalities)。

    以上功能也适用于CFA和MIMIC。

检查硅片表面残留的涂层或均匀薄膜。扫描电镜SEM是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。测sem时的硅片的作用检查硅片表面残留的涂层或均匀薄膜,硅片是生产集成电路、分立器件、传感器等半导体产品的关键材料,是半导体产业链基础性的一环。


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