为什么SEM（SU9000）需要flashing?是由于灯丝噪音吗,不同的机台做flashing的频率和间隔时间为什么不同？

SU9000是冷场发射电子枪，即电子枪阴极温度在300K的常温下发射电子， 冷场发射阴极尖的气体吸附会影响功函数，并引起发射电流波动。提高电子枪室的真空度，10的负8Pa，可以降低气体的吸附速率，但无法避免，对发射尖端进行瞬间加热到2000℃以上（flash），将会有效的脱气。当真空度为10的负7Pa条件下，针尖因为离子轰击很快损坏。

8-12小时必需进行Flash脱气恢复，然后需要等待30分钟，发射束流才会相对稳定。

而热场发射电子枪阴极发射温度一般在1500℃以上，气体分子不会吸附在阴极尖端，所以不需要Flash.

简单的理解就是机器需要休了。

这是因为SEM长时间工作，电子枪上沉积的不少污染电荷，需要flash步骤来回复电子枪的正常工作状态。连续做样的情况下normalflash一般最长8个小时左右需要做一次。

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