SEM背散射电子下,原子系数越大是越亮还是越暗,二次电子下是不是相反的。

SEM背散射电子下,原子系数越大是越亮还是越暗,二次电子下是不是相反的。,第1张

背散射电子是发射电子被样品弹性碰撞弹回来的,所以原子序数大的原子越大,弹性碰撞的概率越大,所以原子序数大的背散射电子强度的大;二次电子是从样品表面发射的电子,跟原子序数没关系,跟样品的表面形态有关,因为撞击角度90度是二次电子基本么有,倾斜装机的二次电子产率就很高了,所以二次电子像是跟样品观察角度有关的。

1、二次电子探测器:材料元素原子序数越大,激发出的信号越少,信号强度越低,表现出电镜图像越暗

2、背散射电子探测器:材料元素原子序数越大,激发出的信号强度越高,表现出电镜图像越亮

3、能谱仪:材料不同元素激发出特征X射线,收集时间越长,累积的强度越大


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