sem的mapping扫描的范围越大越好吗

sem的mapping扫描的范围越大越好吗,第1张

是的。mapping就是扫描每个点,然后把每个点得到的能谱图按特定的元素峰画图,sem的mapping扫描的范围越大越好,在样品中可穿透和散射的范围越大,伴随着产生的X射线信号范围也越大,也就越好

就定量来说,SEM点分析比线分析和面分析更准确,扫描的方式不同,线分析和面分析只能定性的分析观察视场的元素分布情况(线分析是沿着某个界面的元素分布起伏,而面分析是看整个视场的元素分布情况),点分析可以基本定量分析元素。

SEM/EDS是扫描电子显微镜和X-射线能量色散谱仪的简称,两者组合使用,功能非常强大,既能观察微区的形貌又能对微区进行成分分析,在各类分析工作中被广泛运用。

EDS mapping时间就长的多了,尤其是如果想得到比较确定的数据的话,一个线扫就可以耗费半个小时。EDS mapping的分辨率不仅取决于束斑尺寸,由于收集时间比较长,样品漂移的影响更大,所以比eels mapping 差不少。


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