阴极荧光,背散射电子等,特征能量损失电子。
SEM 常常使用:EDS,WDS 分光特征X射线; 俄歇电子需要超高真空环境,往往以俄歇电子谱仪的商品出现,也可归入扫描电镜范畴;背散射电子携带微区不同平均原子序数区域的反差信息,定性的了解原子序数高低或者材料密度分布;阴极荧光光谱范围在紫外,可见或红外波段所发射的电磁辐射,这种现象可以被用来检测矿物,半导体和生物样品中痕量元素(ppm级别,用X射线波谱WDS或者X射线能谱EDS都是不能实现的)的分布。
TEM常使用特征x射线和特征能量损失电子,
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