2020-02-18小刘科研笔记之氩离子精密抛光(可用于电镜制样)

2020-02-18小刘科研笔记之氩离子精密抛光(可用于电镜制样),第1张

离子精密抛光刻蚀镀膜仪是一款集抛光与镀膜于一身的桌面型制样设备。对于同一个样品,可在同一真空环境下完成抛光及镀膜。通过利用两个宽束氩离子源对样品表面进行抛光,去除损伤层,从而得到高质量的样品,用于SEM、光镜、扫描探针显微镜、EDS、EBSD、CL、EBIC或其他分析。

如图所示,氩离子精密抛光刻蚀镀膜仪配备的三种样品台,其中a、b为平面样品台,可用于样品的镀膜及平面抛光;c为截面样品台,用于截面样品的抛光。

氩离子精密抛光刻蚀镀膜仪同时配备金和铂两个靶材,可根据实际镀膜需求选择合适的靶材进行镀膜或改善扫描电镜样品导电性。

氩离子精密抛光刻蚀镀膜仪同时配备了平面和截面样品抛光用的样品台,以满足不同样品的抛光需求。通过选择合适的离子束能量、离子枪角度、离子枪工作模式、样品台转速及时间控制氩离子的作用强度、深度及角度,实现样品表层损伤层的去除。其中,平面样品可根据待抛光样的高度选择a或b平面样品台;截面样品抛光则选择截面样品台c,同时配合配合挡板的使用,可有效遮蔽下半部分离子束,实现对非目标区域保护并对目标区域损伤层去除的目的。

功能: 具备平面大面积离子抛光、横截面离子抛光及高精度离子束镀膜,全面解决高端场发射电镜所有制样需求

离子枪: 两只潘宁式离子枪,装载微小磁铁,聚焦离子束设计,无消耗;

离子枪角度 :0°到 + 18°,每只离子枪可独立调节;

离子枪束能量: 0.1keV~8keV, 可在不同电压下自动优化离子束束流;

抛光区域面积 :平面抛光区域直径≥10mm,横截面≥2mm×2mm;

最大样品尺寸 :直径32mm×高15mm

样品更换 :专利Whisperlok设计,样品更换时间<1min,无需破样品室真空;

冷台部分 :带有液氮冷台,以及精确控温系统,一次加注液氮续航能力6-8小时;

控制部分 :10英寸触摸屏控制,菜单化操作,并支持研磨抛光程序的设定和储存;

耙材装置 :同时安装两种靶材,在不破真空的情况下,可自由选择不同靶材进行镀膜,可配备常见所有种类金属靶材、碳靶材甚至氧化物靶材;

离子抛光 结束后可直接在真空中进行镀膜处理,无需破真空再进行镀膜,可防止样品氧化,一站式解决高端电镜制样需求;

无油真空系统 :无油机械泵+分子泵系统。

薄膜样品由于其厚度薄,常规抛光手段很难实现对其截面的抛光制样,如图2 所示厚度仅90μm PET表层镀金样品,其截面抛光前粗糙,无法分辨基底及镀膜层,利用氩离子抛光后,其表面光滑平整,对红框处放大后可清晰观察到表层金膜。

图3所示为涂层样品抛光前后对比图,从图中可以看到,抛光前,涂层边界处破损严重,涂层与基底处表层覆盖较厚损伤层,对其进行氩离子抛光后,完整的涂层区清晰可见,且对红框处放大可观察到涂层及基底区明显的晶粒分布。

1.与FIB相比,氩离子制样面积更大,制样速率更高;

2.氩离子质量较镓离子更轻,产生的应力层,非晶层更薄,可避免由于制样方法对实验数据产生的误导;

3.氩离子抛光产生的晶格畸变小,可提高EBSD标定率,降低标定参数,提高标定效率;

4.对于易发热的样品,可以通过液氮实时控制样品室温度,避免发热对实验数据的影响,同时提高EBSD标定率。

不积珪步,无以至千里;不积细流,无以成江海。做好每一份工作,都需要坚持不懈的学习。

2019共享充电宝最新十大排名有街电、来电、小电、云充吧、怪兽、倍电、羽博、租电、V电、搜电。

1、街电

街电科技是聚美优品陈欧投资的共享充电宝品牌,也是最早发展共享充电宝的企业,陈欧投资3亿元发展共享充电宝,当三年前很多人都不看好共享充电宝时,2017年底,共享充电宝遇洗牌,共享充电宝行业“死亡名单”十多家,对于创业公司的街电存活至今,强大的资金实力支撑是重要的原因之一。

2、来电

来电是深圳市来电科技有限公司的共享充电宝企业,来电科技申请专利高达300多项,是共享充电宝产品中专利最多的企业,获得中国含金量很高的中国专利奖。

3、小电

小电在2017年的融资中,吸引了腾讯、元璟资本领投、鼎晖、道生投资、盈动资本等亿元融资,腾讯的实力大家是有目共睹的,小电的CEO为唐永波,在共享充电宝行业也是名人了。小电主打的是桌面式共享充电宝机柜,大型共享充电宝立式广告机也有。

4、云充吧

云充吧由深圳市云充吧科技有限公司运营研发,主要经营智能充电宝租赁终端设备,云充吧的机器外观还是不错的,广告机居多,带有液晶显示屏,所以相对来说产品造价也不便宜,在现在共享充电宝市场,颜值高,但是客户需要的是充电而已,造价偏高也给代理商带来了运营成本回本周期压力,显得有点“花里胡哨”。

5、怪兽

怪兽共享充电宝也是最早涉足共享充电宝的品牌之一,首轮融资得到小米科技等投资机构的看中,怪兽充电宝资金实力雄厚。

6、倍电

倍电共享充电宝由深圳市倍电科技有限公司运营和进行全国招商。倍电科技由六年支付服务企业运营,团队为九方集团旗下子公司运作。九方集团直接代理商高达10万人。倍电产品特点:聚合物锂电池,设备自带三线,支持TYPE-C,安卓和苹果充电,在目前的共享充电宝市场,和小电街电第二代产品类似。

7、羽博

羽博是一款老牌的充电宝品牌,进入共享充电宝的市场也挺早,网络电商平台看到很多羽博共享充电宝的身影,线上推广做的很多,深圳羽博天成科技有限公司,位于广东深圳龙华。

8、租电

深圳市租电智能科技有限公司成立于2016年6月,拥有30余项国家级技术发明专利,是一家依托互联网与物联网技术、结合产业特点及大数据应用于一体的智能共享平台。

9、V电

V电是广东蜂巢科技技术开发有限公司(下属品牌-V城生态),是一家集技术研发、互联网营销于一体的现代化高科技企业。公司核心团队拥有雄厚的软硬件自主开发能力和丰富的研发经验,专注于物联网软件和硬件的开发。

10、搜电

搜电由深圳市搜电科技发展有限公司运营和进行全国招商,注册资金200万,搜电的网络推广运作的不错,百度SEM竞价,搜狗SEM竞价,手机端和电脑端都有不少推广广告,搜电公司不是很大,属于创业型企业,当然创业型企业也是有活力的,搜电成立于2015年9月,发展至今,也是有自己的不错的运营方式和产品理念。


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