sem的同步扫描是由什么控制

sem的同步扫描是由什么控制,第1张

TEM是透射电子显微镜的英文缩写,而SEM是扫描电子显微镜的英文缩写。它们都是分析高速电子流与样品作用之后的有关信息。由于收取的信息不同,观测的结果也就有较大差异。

TEM观察的是样品透射和衍射电子的信息,因此它主要用于研究样品的形貌晶体缺陷及超显微结构等特征,也可以测定晶体的结构参数和进行晶体的定向。

TEM具有很高的分辨率(达0.1nm)和放大倍数(100~200万倍)。

SEM主要利用二次电子进行高分辨的表面微形貌观察。其分辨率高(可达5nm),放大倍数为10~30万倍。如果它们配上能谱仪,均能够进行定性或半定量的成分分析。

可以。SEM 中有三个扫描圈:物镜极靴内的扫描线圈是用于电子探针在样品表面扫描;观察和照相用显象管中的扫描线圈是用于控制阴极摄像管(CRT)中的电子束以便在荧光平上作同步扫描。SEM进行形貌分析时都采用光栅扫描方式。SEM 的倍率放大是通过改变镜筒中扫描电圈电流大小来控制的,这样就可以改变样品扫描区域大小,进而改变倍数。


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