sem扫描电镜可以扫碳吗

可以。SEM 中有三个扫描圈：物镜极靴内的扫描线圈是用于电子探针在样品表面扫描；观察和照相用显象管中的扫描线圈是用于控制阴极摄像管（CRT）中的电子束以便在荧光平上作同步扫描。SEM进行形貌分析时都采用光栅扫描方式。SEM 的倍率放大是通过改变镜筒中扫描电圈电流大小来控制的，这样就可以改变样品扫描区域大小，进而改变倍数。

SEM描电镜主要应用于微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、晶界结构和组成等。SEM一般通过搭配能谱仪EDS使用,可利用EDS进行元素成分定性、定量分析。用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析异常污 染物的化学元素组成。

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