因为我们进行测量的物质都是定量的,最低含量为0.X%。EDS 点分析是将电子束固定于样品中某一点上,进行定性或者定量的分析。每一种元素在图中会出现一种峰,由此可以看出样品中所含有的元素,同时展示了相对质量分数和相对原子分数及误差,误差越大表示元素的相对含量可信度越低。
SEM主要优势是观察粗糙的原始表面,一般无需对样品表面进行特殊处理,在微区属于无损分析。如果看金相,需要从形状形貌上来鉴别是什么相,肯定需要腐蚀,因为SEM成像,需要有确切的形貌存在,例如镜面抛光后,图像没有形貌反差,也就无从鉴定相。有时候看夹杂物则无需腐蚀,镜面抛光后,直接使用BSE信号成像,会清晰的表现Z反差。但一般的Z反差和相反差并不完全相符。
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