扫描电镜SEM是指什么?

扫描电子显微镜(SEM) 是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品, 通过光束与物质间的相互作用, 来激发各种物理信息, 对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。扫描电子显微镜在岩土、石墨、陶瓷及纳米材料等的研究上有广泛应用。

SEM描电镜主要应用于微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、晶界结构和组成等。SEM一般通过搭配能谱仪EDS使用,可利用EDS进行元素成分定性、定量分析。用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析异常污 染物的化学元素组成。

可在样品仓内加装光学相机来拍摄照片，

以往通过经验寻找目标位置，现在可在显示屏上直接操作。在拍摄SEM图像时，由于TM4000和TM4000Plus配置双轴马达，原来需手动调整的操作，现在只需在显示器上选择要观察的位置即可。

寻找目标位置：指确认正在观察的样品位置和寻找要观察的样品位置的操作。一般情况下，电子显微镜放大倍率较高，不仅仅需要观察局部图像，还要观察整体的图像。

*2双轴马达台：根据操作人员的观察需求，可自动将样品移动到SEM图像拍摄位置的装置。

在确认拍摄的SEM图像时，由于SEM图像放大倍率高，找到所有SEM图像的观察位置需要花费一定时间。而这种机型可使用软件将低倍率和高倍率SEM图像的位置关系进行关联，并将结果显示在显示器上，使各图像的位置更为直观。

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