sem扫描电镜是测什么的

SEM描电镜主要应用于微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、晶界结构和组成等。SEM一般通过搭配能谱仪EDS使用,可利用EDS进行元素成分定性、定量分析。用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析异常污 染物的化学元素组成。

电子显微镜分为扫描电镜和透射电镜，扫描电镜（sem)可以观察三维结构，分辨率为几十埃，放大倍数为20万至40万倍。

透射电镜（tem）观察二维结构，分辨率可达到几个埃，放大倍率最高能达到100万倍，纳米级别的都可以看到

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