如何确定工件上氧化物涂层的物相、成分和厚度？

一般工件上的涂层是通过各种方式喷涂或屠夫上去的，所以厚度至少在百微米级。因此建议使用X射线衍射仪表征其物相（简称XRD，直接将涂层那一面放于检测位置）。这种涂层一般都是具有晶体结构的无机物，物相就可以认为是其成分。当然，还可以利用X射线荧光的方式再次鉴定成分（简称XRF），和X射线衍射的结果相印证。厚度比较简单，既然厚度至少在微米级，可以将工件切割出一部分置于光学显微镜或电子显微镜下观察（简称SEM），会有相应的尺寸显现出来。

最大电流40mA。SEM是一种多功能的工具，在大部分时候，无需什么样品制备，即可提供各种样品的纳米级信息，需要最大电流40mA，而在某些情况下，为了获得更好的扫描电镜图像，扫描电镜有必要结合喷金仪使用。

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