SEM制样时样品为什么要干燥

1、高真空环境是分子流，湿的样品不断释放水蒸气，使高真空情况下，真空度很难上升，往往达不到比较优越的条件。

2、水蒸气和2000多度高温的钨丝反应，会加速电子枪灯丝挥发，极大降低灯丝寿命。

3、对电子束的散射，会造成信号损失

4、污染样品

不抽真空原因及排除：

1、真空泵电源线是不是接反了或缺相,电机转向不对，检修。

2、容器至真空泵间管路堵塞或泄露，空气过滤器滤芯是否堵塞，使用时间较长需清理垃圾。

3、真空泵叶片碎裂不会产生真空，需更换叶片。

4、查看真空泵油，真空泵油注入要适量，使用久了要更换。严禁使用其他油类。

5、所抽吸的系统密封程度不满足要求，容器泄露量过大。检查排除。

常见故障

跑袋：外接气源压力太大，外接气源压力指示≤0.2MPa 。

充气嘴口太大：减小充气嘴口。

封口起皱：充气嘴没有固定，固定充气嘴。

外接气源压力大：外接气源压力指示≤0.2MPa 。

充气量不足：充气管路受压迫，调整充气管路。

充气时间太短：延长充气时间(至少15秒)。

真空泵不抽真空的原因及解决办法：

1、真空泵电源线是不是接反了或缺相,电机转向不对，检修。

2、容器至真空泵间管路堵塞或泄露，空气过滤器滤芯是否堵塞，使用时间较长需清理垃圾。

3、真空泵叶片碎裂不会产生真空，需更换叶片。

4、查看真空泵油，真空泵油注入要适量，使用久了要更换。严禁使用其他油类。

5、所抽吸的系统密封程度不满足要求，容器泄露量过大。检查排除。

6、泵油污染，需要换油。

7、泵内油过滤器堵塞，引起压缩注油系统油路不畅，供油不足，导致泵体密封不严，这时需要清洗内部油过滤器；配油器阀门变形，磨损或损坏，也可导致供油不足，这时应检查更换配油器阀门；长时间使用引起真空泵的旋片磨损或转子内的弹簧张力不足，导致吸气室和排气室隔离不严，从而引起真空泵的抽真空性能下降。这时应当更换旋片和弹簧，并清洗转子和泵腔；检查排气阀门，观看其动作是否失灵，导致排气不畅，必要时更换排气阀门。

滤哥专业生产真空泵过滤器厂家建议具体情况具体分析。

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