2.通过对这些信息的接收、放大和显示成像,获得测试试样表面形貌的观察。
3.sem是一种电子显微镜,中文名为扫描电子显微镜,通过用聚焦电子束扫描样品的表面而产生样品表面的图像。
4.它由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统和电源系统组成,应用于生物、医学、材料和化学等领域。
5.扫描电镜(SEM)是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。
6.扫描电镜的优点是,有较高的放大倍数,20-20万倍之间连续可调。
7.有很大的景深,视野大,成像富有立体感,可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构。
8.试样制备简单。
9.目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置,这样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析,因此它是当今十分有用的科学研究仪器。
桌面台扫描电镜(Desktop 或者Tabletop或者Benchtop, MINI sem)
目前市场上产品大多只是在原有传统钨灯丝扫描电镜基础上不但进行缩小而且做了大量简化,把众多工作条件的调节范围限定在很小的区域甚至固定某些参数,或者采用更大的步距来简化调节,通过以上种种技术手段,也就是归结到所谓专业机向简易机的退变。在这之所以不强调以往的小型机是傻瓜机式的全自动或者操作更加便捷,因为这样容易误导。桌面台式机并不是当代的创造,而是伴随扫描电子显微镜的发展一直存在的小型化简易化产品,只不过时代不同,影响不如当代这般“尽人皆知”。如下图的Desk-Top Mini sem,如果对扫描电镜发展历史比较熟悉,或者说对电器控制比较熟悉,应该大体可以判断是什么年代的产品。从这个名字,也知道现在是谁在照搬这个历史概念。这个产品,一般人很难联想到全自动傻瓜机,更不要说联想到普遍使用的数码机,只能说这是一台比较原始简陋的仪器。然而经过当代技术的包装以及概念的偷换,就把它描绘成全自动的傻瓜机,操作的方便性优于大型机,力图遮掩其简陋机的本质,是非常不切实际。到现在为止常规大型机的各项技术发展都要优先于小型机,包括各种自动控制功能,同一个时代的常规大型机的操作便捷便利性只能比小型机好而不是差。要说差,唯一的原因就是常规大型机给更加专业用户提供了更多选择,然而这丝毫不影响一般用户的操作方便,如果大型机如此方便的操作还用不好,那么小型机也同样用不好,这个道理很浅显。
那么当前是否所有的小型台式机都是简陋型的呢?COXEM品牌的EM-20小型台式扫描电镜给出了否定答案。EM-20是小型化的产品,但不是简单化的产品,而是移植了大型钨灯丝扫描电镜核心技术的专业化产品。
*全自动高亮度电子枪,全数字化高压电源模块,0.5KV~20KV范围内调节和常规大型扫描电镜相同;
*双聚光镜设计 Spot size调节设置10档手动调节,并且Spot size可以和放大倍数或者图像像素数量匹配的自动调节,尤其使用触摸屏操作时,更加方便;
*圆锥形物镜,具有更高分辨性能,和更强大的长焦观测能力;
*由于设计为7nm分辨率 ,因此所有光阑都是固定的,物镜光阑选择最佳的尺寸,兼顾高分辨和优秀图像质量;
*使用COXEM系列大型扫描电镜高级的自动聚焦,自动消象散算法,使得自动功能更加实用;
*实时直方图监测亮度对比度并可实现自动调节;
*采用合理的四轴样品台,X Y为标配两轴计算机导航的马达驱动,R旋转功能作为辅助,Z轴调节范围5~60mm
以上配置可以实现对电子光学的电子束d、 i、 a、V 这四个重要参数进行类似大型钨灯丝扫描电镜的调节,可以分别实现高分辨,高反差,大景深,低加速电压这四种观察模式,而辅助的自动化调节手段,让这些模式的实现轻松而至,最大限度的丰富了材料科学工作者的视野,这充分体现COXEM品牌的核心价值之一,追求操作轻爽及卓越视觉质量。然而如此卓越品质的产品,定价在台式机市场中几乎是最低的,COXEM最大限度的让利于客户,寄希望与市场客户共同成长,这又充分体现COXEM品牌的核心价值之二,以经济友好的方式,实现普及应用。
SEM描电镜主要应用于微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、晶界结构和组成等。SEM一般通过搭配能谱仪EDS使用,可利用EDS进行元素成分定性、定量分析。用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析异常污 染物的化学元素组成。欢迎分享,转载请注明来源:夏雨云
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