谁知道EBL 跟TPM是什么意思

EBL

Experiment-based learning

基于实验的教学方法。 电子束曝光系统（electron beam lithography, EBL，又称电子束暴光系统）是一种利用电子束在工件面上扫描直接产生图形的装置。由于SEM、STEM及FIB的工作方式与电子束曝光机十分相近，美国JC Nabity Lithography Systems公司是最早研发了基于改造商品SEM、STEM或FIB的电子束曝光装置（Nanometer Pattern Generation System纳米图形发生系统，简称NPGS，又称电子束微影系统）。电子束曝光技术具有可直接刻画精细图案的优点，且高能电子的波长短（<1 nm），可避免绕射效应的困扰，是实验室制作微小纳米电子元件最佳的选择。相对于购买昂贵的专用电子束曝光机台，以既有的SEM等为基础，外加电子束控制系统，透过电脑介面控制电子显微镜中电子束之矢量扫描，以进行直接刻画图案，在造价方面可大幅节省，且兼具原SEM 的观测功能，在功能与价格方面均具有优势。由于其具有高分辨率以及低成本等特点，在北美研究机构中，JC Nabity的NPGS是最热销的配套于扫描电镜的电子束微影曝光系统，而且它的应用在世界各地越来越广泛。（NPGS最突出优点是技术先进性无与伦比且性价比高）

TPM

TPM安全芯片TPM实际上是一个含有密码运算部件和存储部件的小芯片上的系统，由CPU、存储器、I/O、密码运算器、随机数产生器和嵌入式操作系统等部件组成。

1、要自觉参与,自律进行班组活动。

TPM小集团活动要成为与职制连为一体,员工自觉参与活动而交换信息,解决难题的自律小集团动。只靠有关少数人员的活动和诊断搞一时的活动,根本不能形成

TPM体质化。而且,干部要把活动时间安排到一周一次、提示方向,特别是积极支援和指导不成熟的实践组的活动就是干部们的责任。

2、把目标(水准)达成与TPMSTEP明确连接并活动

若完成TPM各STEP,要想象改变到怎样的面貌,而且把现水准的把握与未来的面貌定为目标并连接为活动。目标要设定为一个方向,开展有深度、真实的活动。

3、为了个人和组织的成长而进行TPM

虽然TPM活动的对象是设备,但通过设备而培育专家,因此要进行以人为中心的TPM。每个人都有潜力,要成为能爆发出每个人的潜力的实践活动。若学会设备与过

程所期待的面貌而且增进实力,会有明显的效果。最后把安全TPM活动生活化,必须创造安全的无灾害事业场。

4、重视基本和原则的TPM活动

TPM强调彻底的实践。只是为了改善的着急心态而追求省略过程、只顾结果的TPM,现场中要遵守的基本和原则会倒塌的。要把整理、整顿、清扫3S活动生活化、

始终维持干净的作业环境、制订和遵守明确的标准的活动和找出、解决测量仪的程度管理及设备的不合理等维持TPM基本条件的活动放在重点并把它体质化。

5、TPM活动要与目前的工作直接连接

TPM是要使目前做的工作更容易、更方便、个更有效更安全的推进下去。进行与目前要做的工作直接连接的TPM时,各实践组会呈现其特色和活动的价值明工作的

目标和改善之后,变更点必须反映于SQM的管理项目而连接好TPM与SQM。

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