SEM/EDS是扫描电子显微镜和X-射线能量色散谱仪的简称,两者组合使用,功能非常强大,既能观察微区的形貌又能对微区进行成分分析,在各类分析工作中被广泛运用。
EDS mapping时间就长的多了,尤其是如果想得到比较确定的数据的话,一个线扫就可以耗费半个小时。EDS mapping的分辨率不仅取决于束斑尺寸,由于收集时间比较长,样品漂移的影响更大,所以比eels mapping 差不少。
eds能谱分析报告元素的比例:2:1。
EDS主要检测无机成分在固体微观区域分布状态,定量研究无机元素分布均匀程度。 一般使用无标样定量分析,主元素的定量精度较高,相对误差±2%范围内,微量及痕量元素相对误差很大。
地下金属探测器采用声音报警及仪表显示,探测深度跟被探金属的面积、形状、重量都有很大的关系,一般来说,面积越大,数量越多,相应的探测深度也越大;反之,面积越小,数量越少,相应的深度就越小。
测试原理
当X射线光子进入检测器后,在Si(Li)晶体内激发出一定数目的电子空穴对。产生一个空穴对的最低平均能量ε是一定的(在低温下平均为3.8ev),而由一个X射线光子造成的空穴对的数目为N=△E/ε,因此,入射X射线光子的能量越高,N就越大。利用加在晶体两端的偏压收集电子空穴对,经过前置放大器转换成电流脉冲,电流脉冲的高度取决于N的大小。
以上内容参考:百度百科-能谱仪
SEM是scanning electron microscope的缩写,中文即扫描电子显微镜,扫描电子显微镜的设计思想和工作原理,早在1935年便已被提出来了。1942年,英国首先制成一台实验室用的扫描电镜,但由于成像的分辨率很差,照相时间太长,所以实用价值不大。经过各国科学工作者的努力,尤其是随着电子工业技术水平的不断发展,到1956年开始生产商品扫描电镜。近数十年来,扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中,促进了各有关学科的发展。EDS, an HP company 是全球信息服务业领导者之一,以协助全球客户提高企业的运营绩效。另有EDS (能谱,Energy Dispersive Spectrometer),EDS电气设计软件包
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