SEM制样时样品为什么要干燥

1、高真空环境是分子流，湿的样品不断释放水蒸气，使高真空情况下，真空度很难上升，往往达不到比较优越的条件。

2、水蒸气和2000多度高温的钨丝反应，会加速电子枪灯丝挥发，极大降低灯丝寿命。

3、对电子束的散射，会造成信号损失

4、污染样品

SU9000是冷场发射电子枪，即电子枪阴极温度在300K的常温下发射电子， 冷场发射阴极尖的气体吸附会影响功函数，并引起发射电流波动。提高电子枪室的真空度，10的负8Pa，可以降低气体的吸附速率，但无法避免，对发射尖端进行瞬间加热到2000℃以上（flash），将会有效的脱气。当真空度为10的负7Pa条件下，针尖因为离子轰击很快损坏。

8-12小时必需进行Flash脱气恢复，然后需要等待30分钟，发射束流才会相对稳定。

而热场发射电子枪阴极发射温度一般在1500℃以上，气体分子不会吸附在阴极尖端，所以不需要Flash.

可能你还没有机会接触更深，也就是说还没有机会上手操作，否则一定需要培训，简单培训过后，这些都必须知道，否则连开关机都不会。

虽然不同型号标识会略有不同，但通过意思还能判断的：

Power--电镜主机的电源开关

Air-- 基本是指泄真空，往真空室放气，这样才可以打开样品仓，或者电子枪室等。

扫描电镜是高真空系统，一般是由两级或者三级真空泵串联组成，通过真空阀门和真空测量器件共同进行自动逻辑控制。

START UP -- 开始抽真空 ：第一次开机，更换样品后都需要重新抽真空，现在一般都是在软件中控制。软件中本身有指示灯，过去都在主机上用LED灯显示。只要保持抽真空状态，这个等一直亮。按AIR按钮后，真空泵停止运转，这个灯会灭。

SHUT DON-- 关机，不泄漏真空，但真空泵停止运转，可以关闭总电源，保持电镜真空腔体处于真空状态。

R.P，Ratary Pump 缩写，是前级泵，叫做旋片式机械真空泵，最高这空度0.1Pa，一般需要将真空室从大气压抽到10pa 以下。一般扫描电镜抽真空时间设计在3分钟以内。

M.P ，Molecular Pump缩写，是二级泵，叫做分子泵，必须在气体的分子流下工作，启动真空度在10pa 以下。

也不知道你接触的设备是哪个年代的，当前新设备基本都不用真空表，直接是数字显示实际真空度。

总之都是一个意思，估计你的设备比较老。

真空表0-10之间，0代表大气，10代表高真空，高压电源允许打开的真空度（高压电源是有真空保护装置的，真空达不到，好的电镜都会自动锁住高压电源开关，万一真空泄露，也会自动关闭高压电源）。

刚开机的时候，是因为真空室内的腔体处于一定真空状态，不是从大气开始抽的，表指示的是初始真空度，如果打开样品室，更换样品后再重新抽真空，就是从0开始了。

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