如何获得清晰的扫描电镜（SEM）图像

1、制样：成功制备出所要观察的位置，样品如果不导电，可能需要镀金

2、环境：电镜处在无振动干扰和无磁场干扰的环境下

3、设备：电镜电子枪仍在合理的使用时间内

4、拍摄：找到拍摄位置，选择合适距离，选择合适探头→对中→调像散→聚焦，反复操作至最清晰

景深这个东西在电镜参数固定的条件下也是固定值。

SEM改变景深大概通过这么几个途径

（1）增大工作距离（WD）

（2）减小束斑尺寸（Spot）

（3）增加光阑数量

（4）有效的消除象散

另外，景深也是和放大倍数有关，在小的放大倍数下，景深要大很多。

7500F是日本电子卖的比较好的冷场，冷场的束斑较热场的要小很多，因此景深应该可以保证。

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