SEM 可以测成分吗

这个是可以测成分的，牛津仪器纳米分析部推出了可以在SEM里测量薄膜成分和厚度软件系统ThinFilmID。 ThinFilmID是利用EDS测量薄膜结构的成分和厚度。 这项技术是唯一基于SEM和EDS薄膜分析系统。

不可以。

由于微塑料尺寸较小，我们可以尝试EDS观测其形貌。样品形貌均一，元素分布均匀，无明显微塑料的信息，多次尝试未果，所以未经分离富集的土壤样本直接进行微观分析，难以发现微塑料的信息。eds穿透能力和样品密度也有关的。

eds不是表面技术，和sem形貌信号源完全不同，当然没可比性，eds纵向分析深度至少也是微米级。扫描电镜的能谱分析就是分析的表面附近一两个微米以内范围的成分。这是因为电子束的能量有限，不可能打到厚度较深的区域。sem电子束的穿透深度是微米级的，如果你样品表面只有几纳米，建议用其他表征方法。sem穿透深度和你用的加速电压有关系，电压小穿透浅，你可以试试用5千伏特。

---