通过测SEM怎么知道材料中各元素的含量，准确不？

扫描电镜能谱分析通过激发原子发射特征X射线来确定成份，只能测试材料表面，根据电压不同测试的厚度不同，且轻元素是测试不了的，不记得是Be还是B之前的元素了，反之从C开始都能测试到，准确性很差。

XRD可以做定性，定量分析。即可以分析合金里面的相成分和含量,可以测定晶格参数,可以测定结构方向、含量，可以测定材料的内应力，材料晶体的大小等等。一般主要是用来分析合金里面的相成分和含量。

样品制备：

通常定量分析的样品细度应在1微米左右，即应过320目筛。

SEM是利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子发射。

SEM所用的是能谱仪，精度不高，只能分析表面几十nm的深度范围，你用SEM做能谱时Ca，O元素都明显打出来了吗，另外你的材料里本身有没有S元素，含量如何，如果含量较少也可能打的不清晰。最后一点，你SEM时样品的衬底用的什么？会不会是衬底峰将S元素的峰掩盖 了

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