扫描电镜sem主要探测的型号强弱与材料什么物理量有关

1、二次电子探测器：材料元素原子序数越大，激发出的信号越少，信号强度越低，表现出电镜图像越暗

2、背散射电子探测器：材料元素原子序数越大，激发出的信号强度越高，表现出电镜图像越亮

3、能谱仪：材料不同元素激发出特征X射线，收集时间越长，累积的强度越大

20KV 加速电压

放大5万倍

工作距离 11mm

ETD : E-T型二次电子探测器

Spot，束斑大小控制参数

成像模式：二次电子像

2μm 比例尺 scale

FEI 是公司名称 后边是sem型号

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