金属试样做SEM和EDS之前需要侵蚀吗？

如果你只是做金属材料中的夹杂等成分，可以不用侵蚀，直接使用背散射观察，然后用EDS进行

成分分析

；如果你需要看材料的

基本组织

，第二相等，需要侵蚀，然后SEM观察，同时可在感兴趣的位置进行EDS，包括点、线、面的成分分析。

EDX 点扫,面扫和mapping这三者之间有什么差别？

就定量来说，SEM点分析比线分析和面分析更准确，扫描的方式不同，线分析和面分析只能定性的分析观察视场的元素分布情况（线分析是沿着某个界面的元素分布起伏，而面分析是看整个视场的元素分布情况），点分析可以基本定量分析元素。

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