请问一下：在调节扫描电镜聚焦时为什么工作距离会变？

工作距离WD的概念是物镜下表面到试样表面的距离，但是由于每次放入不同样品的高度不一样，每个样品上的不同区域的形貌起伏也不同，这均使得WD发生变化。所以，操作扫描电镜时，需要做的第一件事就是先粗略地标定WD，方法就是在某一特定放大倍数下获得聚焦清楚的图像，根据此时的焦长自动标定出相对准确的WD，而后，你继续调节WD的数值才是相对真实可信的。注意，调节WD是要靠机械马达，而利用焦距判定WD是利用焦长以及SEM的系统软件，相比之下，前者是粗调，后者是精确值。你在同一试样上的不同高度的微区聚焦时，该微区距离物镜下表面的WD精确值当然会因聚焦条件的变化而被重新校正。所以拍照所得的WD会发生微小的变化。

1、首先应立即加热退磁，可以用本身不带磁性的铁镊子或大头针靠近样品。

2、其次先上低倍钨丝试试，磁场比较低，没有晃动或者照片异常等等的话再去上场发射。

3、最后不可用磁铁直接靠近样品进行测试即可。

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