如何解决SEM图像的漂移问题

如何解决SEM图像的漂移问题,第1张

我自己碰到的图像漂移有:

1。样品固定不牢固,或者样品太。因此样品大小要合适,并用导电胶固定牢固。

2。刚放入样品,开始观察时图像漂移较大,可等半小时左右在开始,图像漂移消除或减弱。

3。样品导电性差,荷电现象导致图像漂移不清楚,可降低电压或者样品表面喷金(碳)处理。

4。扫描电镜对中不好导致聚焦过程中图像移动。

5。高倍观察时,环境振动也会导致图像漂移或者浮动。

对于导电性能不好的样品如半导体材料,绝缘体薄膜,在电子束的作用下,其表面会产生一定的负电荷积累,这就是俄歇电子能谱中的荷电效应·样品表面荷电相当于给表面自由的俄歇电子增加了一定的额外电压, 使得测得的俄歇动能比正常的要低·在俄歇电子能谱中,由于电子束的束流密度很高,样品荷电是一个很严重的问题·有些导电性不好的样品,经常因为荷电严重而不能获得俄歇谱·但由于高能电子的穿透能力以及样品表面二次电子的发射作用,对于一般在100nm厚度以下的绝缘体薄膜,如果基体材料能导电的话,其荷电效应几乎可以自身消除·因此,对于一般的薄膜样品,一般不用考虑其荷电效应·

就是只有一半的荷电。

半荷电的意思就是就是只有一半的荷电。不是满荷电状态,荷电保持能力:在25℃±5℃条件下将充满电的电池组存放30小时后。再以半荷电态继续贮存。

荷电对于导电性能不好的样品如半导体材料,绝缘体薄膜,在电子束的作用下,其表面会产生一定的负电荷积累。由于高能电子的穿透能力以及样品表面二次电子的发射作用,对于一般在100nm厚度以下的绝缘体薄膜,如果基体材料能导电的话,其荷电效应几乎可以自身消除。因此,对于一般的薄膜样品,一般不用考虑其荷电效应。


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