谁能给我讲解一下SEM和TEM的区别,详细一点

谁能给我讲解一下SEM和TEM的区别,详细一点,第1张

最主要的区别是:SEM是通过反射的方式采集信号

TEM是通过透射的方式采集信号

1、样品属性大概必须都是固体,干燥、无油、尽量导电。TEM获得材料某个剖面的组织形态,sem获得的是材料表面或者是断面的组织形态。透射电镜不可以看表面形貌,而扫描电镜所观察的断面或者表面的组织形态可以间接表征材料的内部某个剖面的的组织形态。TEM分辨率高,可以观察原子晶格像,而扫描电镜分辨率低,最多只能表征由几十或者几百个原子形成的纳米相--可以叫做晶粒或者功能团。

2、扫描电镜制备简单,可直接观察样品表面或者断面;TEM样品制备复杂精细,材料必须用专用制样设备,制备成几个微米甚至100nm厚度的薄片

3、材料有里有面,全方位了解材料的微观组织结构需要从低倍到高倍的表征。

介孔Pt纤维。左起依次是场发射扫描式电子显微镜、高分辨率扫描式电子显微镜、透射电子显微镜拍摄的照片。

楼主看出用途的差别了吗?

照片a 只能用扫描看,不能用透射。照片b和c是照片a中的一个纤维,可以用扫描也可以用透射观察!有差别但很相似

扫描透射电镜(STEM)的特点:

(1)STEM技术要求较高,要非常高的真空度,并且电子学系统比TEM和SEM都要复杂。

(2)加速电压低,可显著减少电子束对样品的损伤,而且可大大提高图像的衬度,特别适合于有机高分子、生物等软材料样品的透射分析。

(3)可以观察较厚的试样和低衬度的试样。

(4)扫描透射模式时物镜的强激励,可以实现微区衍射。

(5)应用扫描电镜的STEM模式观察生物样品时,样品无需染色直接观察即可获得较 高衬度的图像。

扫描透射像的形成原理:

在扫描电镜中,电子束与薄样品相互作用时,会有一部分电子透过样品,这一部分透射电子也可用来成像,其形成的像就是扫描透射像(STEM像)。如下图所示,扫描电镜的STEM图像跟透射电镜类似,也分为明场像(bright field,BF)和暗场像(dark field,DF),明场像的探测器安装在扫描电镜样品的正下方,当入射电子束穿过样品后,散射角度较小的电子经过光阑孔选择后进入明场探测器形成透射明场像,散射角比较大的电子经DF-STEM电极板反射,由二次电子探头接受形成暗场像。

sem的样品可以是大的块状,较小的话就镶样,也可以做粉末样。而tem的样呢一般是直径3mm的圆片,而且中间有通过离子减薄或者电解双喷等弄出的小孔,也就是说有薄区,如果是粉末样的话需要铜网或者支持膜支撑


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