SEM对样品的要求。
1、不会被电子束分解。
2、在电子束扫描下热稳定性要好。
3、能提供导电和导热通道。
4、大小与厚度要适于样品台的安装。
5、观察面应该清洁,无污染物。
6、进行微区成分分析的表面应平整。
7、磁性试样要预先去磁,以免观察时电子束受到磁场的影响。
可在样品仓内加装光学相机来拍摄照片,以往通过经验寻找目标位置,现在可在显示屏上直接操作。在拍摄SEM图像时,由于TM4000和TM4000Plus配置双轴马达,原来需手动调整的操作,现在只需在显示器上选择要观察的位置即可。
寻找目标位置:指确认正在观察的样品位置和寻找要观察的样品位置的操作。一般情况下,电子显微镜放大倍率较高,不仅仅需要观察局部图像,还要观察整体的图像。
*2双轴马达台:根据操作人员的观察需求,可自动将样品移动到SEM图像拍摄位置的装置。
在确认拍摄的SEM图像时,由于SEM图像放大倍率高,找到所有SEM图像的观察位置需要花费一定时间。而这种机型可使用软件将低倍率和高倍率SEM图像的位置关系进行关联,并将结果显示在显示器上,使各图像的位置更为直观。
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