SEM EDS相对质量分析

你当然可以这么做，只是误差比较大。

实际一般情况我们只需要知道相对量就好了，并不需要这么精确的数值。

如果确实需要精确数值，那需要标定，毕竟不同元素的响应值区别还是很大的。

实际上，你的ZSM-5的硅铝比就能验证，SEM数值跟化学法数值差距还是很大的；但这并不妨碍很多人直接用SEM数据表征他们样品的硅铝比

SEM是scanning electron microscope的缩写，中文即扫描电子显微镜，扫描电子显微镜的设计思想和工作原理，早在1935年便已被提出来了。1942年，英国首先制成一台实验室用的扫描电镜，但由于成像的分辨率很差，照相时间太长，所以实用价值不大。经过各国科学工作者的努力，尤其是随着电子工业技术水平的不断发展，到1956年开始生产商品扫描电镜。近数十年来，扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中，促进了各有关学科的发展。

EDS, an HP company 是全球信息服务业领导者之一，以协助全球客户提高企业的运营绩效。另有EDS (能谱，Energy Dispersive Spectrometer)，EDS电气设计软件包

就定量来说，SEM点分析比线分析和面分析更准确，扫描的方式不同，线分析和面分析只能定性的分析观察视场的元素分布情况（线分析是沿着某个界面的元素分布起伏，而面分析是看整个视场的元素分布情况），点分析可以基本定量分析元素。

SEM/EDS是扫描电子显微镜和X-射线能量色散谱仪的简称，两者组合使用，功能非常强大，既能观察微区的形貌又能对微区进行成分分析，在各类分析工作中被广泛运用。

EDS mapping时间就长的多了，尤其是如果想得到比较确定的数据的话，一个线扫就可以耗费半个小时。EDS mapping的分辨率不仅取决于束斑尺寸，由于收集时间比较长，样品漂移的影响更大，所以比eels mapping 差不少。

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