sem扫描电镜是测什么的

sem扫描电镜是测什么的,第1张

SEM描电镜主要应用于微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、晶界结构和组成等。SEM一般通过搭配能谱仪EDS使用,可利用EDS进行元素成分定性、定量分析。用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析异常污 染物的化学元素组成。

SEM,全称为扫描电子显微镜,又称扫描电镜,英文名Scanning Electronic Microscopy. TEM,全称为透射电子显微镜,又称透射电镜,英文名Transmission Electron Microscope.

区别:

SEM的样品中被激发出来的二次电子和背散射电子被收集而成像. TEM可以表征样品的质厚衬度,也可以表征样品的内部晶格结构。TEM的分辨率比SEM要高一些。

SEM样品要求不算严苛,而TEM样品观察的部分必须减薄到100nm厚度以下,一般做成直径3mm的片,然后去做离子减薄,或双喷(或者有厚度为20~40μm或者更少的薄区要求)。

TEM可以标定晶格常数,从而确定物相结构;SEM主要可以标定某一处的元素含量,但无法准确测定结构。

SEM一般用在大学里实验室和一些研究机构,对样品的要求是:样品要具有导电性。工厂里很少用,因为它的价格很贵

在钢铁方面的应用主要有:断口分析,就是观察断口形貌,根据形貌分析问题。表面观察,一般用于金相的表面(在大学里应该都做过这方面的实验),由于其分辨率较高,得的图片很好。还有可用动态观察,比如在钢的变形过程中观察M氏体断裂等等

SEM一般是在开发新产品时,测试新产品中使用的,旧的流水线上一般不用(谁愿意费那钱),我们给酒钢做过这类的东西,所以知道一点。至于能和其它什么仪器配合使用,这要看你要什么,做哪方面的,很多单独使用的仪器也可以和SEM配合使的


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