EDX,全称Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy,能量色散X射线光谱仪,EDX是借助于分析试样发出的元素特征X射线波长和强度实现的;
根据不同元素特征X射线波长的不同来测定试样所含的元素。通过对比不同元素谱线的强度可以测定试样中元素的含量。
通常EDX结合电子显微镜使用,可以对样品进行微区成分分析。
扩展资料:在包含某种元素1的样品中,照射一次X射线,就会产生元素1的荧光X射线,不过这个时候的荧光X射线的强度会随着样品中元素1的含量的变化而改变。
元素1的含量多,荧光X射线的强度就会变强,注意到这一点,如果预先知道已知浓度样品的荧光X射线强度,就可以推算出样品中元素1的含量。
采用定量分析的时候,可以在样品中加入高纯度的二氧化硅,作为参比样,并且掺量是已知的。这样可以间接知道其他组分的含量。
测试出能谱后,对应的软件上有显示元素种类,该元素对应哪几个峰形。有时候会出现很多不知名的其他元素,这个时候要根据自己所测试物质所含元素的组成进行辨别。测试时,分为面扫和点扫,面扫对应SEM上显示的一个面中各元素含量,点扫则对应该点(实际上由于探针会飘动,所以也会收集到附近/周围点的元素情况)。收集的时间长短,决定了峰的强度大小,一般为了数据可靠,收集的时间要长一些。最后,EDX会给出以At%和wt%为单位的各元素数据,At%表示原子百分数,wt%表示质量百分数。根据wt%除以各种元素的相对原子质量,可以计算出物质的结构式。但是,EDX只是一个半定量的测试方法,结果还不够精确。想要获得更加精确的数值,可以用ICP(含金属的物质)。二次电子扫描象的分辨本领最高,约等于入射电子束直径,一般为6-10nm深,主要用于测试表面形貌;背散射电子为50-200 nm深,可以测表面形貌,也可以得到表面成分衬度;吸收电子和X射线为100-1000nm深,这些信号主要用来得到表面元素。 查看原帖>>欢迎分享,转载请注明来源:夏雨云
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