sem的eds和mapping什么区别

sem的eds和mapping什么区别,第1张

就定量来说,SEM点分析比线分析和面分析更准确,扫描的方式不同,线分析和面分析只能定性的分析观察视场的元素分布情况(线分析是沿着某个界面的元素分布起伏,而面分析是看整个视场的元素分布情况),点分析可以基本定量分析元素。

SEM/EDS是扫描电子显微镜和X-射线能量色散谱仪的简称,两者组合使用,功能非常强大,既能观察微区的形貌又能对微区进行成分分析,在各类分析工作中被广泛运用。

EDS mapping时间就长的多了,尤其是如果想得到比较确定的数据的话,一个线扫就可以耗费半个小时。EDS mapping的分辨率不仅取决于束斑尺寸,由于收集时间比较长,样品漂移的影响更大,所以比eels mapping 差不少。

TEM :Transmission Electron Microscopy 透射电镜

EDS:能量弥散X射线谱(Energy-dispersive X-ray spectroscopy

SEM:scanning electron microscope扫描电子显微镜

FE-SEM:Field-Emission Scanning Electron Microscope场发射扫描电子显微镜

STM:scanning tunneling microscope扫描隧道显微镜

AFM:Atomic force microscopy原子力显微镜

XRD:X-ray diffractionX射线衍射

XPS:X-ray photoelectron spectroscopyX射线光电子能谱

FT-IR:Fourier transform infrared spectroscopy 傅立叶红外光谱仪

UV-VISQ:Ultraviolet–visible spectroscopy 紫外可见吸收光谱


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