SEM/EDS是扫描电子显微镜和X-射线能量色散谱仪的简称,两者组合使用,功能非常强大,既能观察微区的形貌又能对微区进行成分分析,在各类分析工作中被广泛运用。
EDS mapping时间就长的多了,尤其是如果想得到比较确定的数据的话,一个线扫就可以耗费半个小时。EDS mapping的分辨率不仅取决于束斑尺寸,由于收集时间比较长,样品漂移的影响更大,所以比eels mapping 差不少。
扫描电子显微镜简称为扫描电镜,英文缩写为SEM。它是用细聚焦的电子束轰击样品表面,通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析。现在扫描式电子显微镜都与能谱(EDS)组合,可以进行成分分析。所以,扫描式电子显微镜也是显微结构分析的主要仪器,已广泛用于材料、冶金、矿物、生物学等领域。扫描式电子显微镜行业上游主要包括电子元器件、光学仪器产品及其他配件。扫描式电子显微镜主要应用于主要用于纺织、化工、印染、仪器仪表、材料分析、教学科研等许多领域。
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